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- Artikel-Nr.: KDP304001
Krytox™ 1506 PFPE-Vakuumöl – für saubere Prozesse in Labor- und Halbleitertechnik
Krytox™ 1506 ist ein hochwertiges PFPE-Vakuumöl, das speziell für kontaminationssensible Anwendungen entwickelt wurde.
Die vollständig reaktionsträge Formulierung verhindert Ablagerungen, Oxidation oder Materialangriff und eignet sich damit ideal für Reinraumtechnik, Vakuumprobenhandling, Plasma- und Beschichtungsverfahren.
Durch die außergewöhnliche Sauberkeit und Stabilität ermöglicht Krytox™ 1506 gleichbleibende Enddrücke, zuverlässig laufende Pumpen und reduzierte Stillstandzeiten.
Anwender profitieren von einer höheren Prozessausbeute und dauerhaft reproduzierbaren Ergebnissen.
Optimiert für Reinraum- und Halbleiterfertigung
In der Halbleiterproduktion – etwa bei ALD, PEALD, Plasmaätzen, Ionenimplantation und Sputterprozessen – zählt jeder Partikel. Herkömmliche Vakuumöle können durch Zersetzung oder Reaktionsneigung Rückstände bilden, die zu Messfehlern, Schichtdefekten oder Prozessabbrüchen führen.
Krytox™ 1506 verhindert genau das:
- keinerlei Reaktionen mit Prozessgasen
- keine Säure- oder Polymerisationsprodukte
- keine Ölalterung in Plasma- oder Sauerstoffatmosphären
- kein Risiko für Partikelbildung oder filmische Rückstände
Damit bleibt die Prozessumgebung zuverlässig sauber – auch bei langen Laufzeiten oder anspruchsvollen Gaszusammensetzungen.
Ideal für anspruchsvolle Labor- und Analyseumgebungen
In Laboren und der Materialforschung überzeugt Krytox™ 1506 insbesondere durch:
- hohe Medien- und Materialverträglichkeit, auch mit empfindlichen Elastomeren
- sehr geringe Verdampfungsneigung, wodurch Probenbereiche sauber bleiben
- zuverlässige Leistung bei Massenspektrometrie, REM/FIB-Systemen, Vakuumsinterung, UHV-Analytik
- geringere Verschmutzung von Kammern und Detektionssystemen
Damit eignet es sich hervorragend für Forschungsumgebungen, die absolute Reproduzierbarkeit verlangen.
| Hersteller: | Krytox |
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